紫外線照射 UV照射の知識 ：UV/EUV/SUV/DUV/オゾン酸化/光酸化

UV/EUV/SUV/DUV/オゾン酸化/光酸化

■ UV/EUV/SUV/DUV/オゾン酸化/光酸化

UVとは、可視光より波長の短い「紫外線」のことで、波長の長さにより
UV-A(400nm〜315nm)　　
UV-B(315nm〜280nm)
UV-C(280nm〜200nm)　　と、一般的には*分類されます。


UVは環境にダメージを与えない処理法となる、様々な使い方があり、
化学/工業/医療など、幅広い用途で活用されています。

*UVを技術利用する場合は、UV-A UV-B UV-C という区分ではなく、
紫外線ランプの種類や、具体的な紫外線波長（nm：ナノ メートル）によって
技術の用途や目的が変わるケースが多く存在します。

UV樹脂・UV塗料の硬化　（200〜400nm波長、主に365nmを利用）
ウェーハ洗浄、殺菌など　（主に254nm波長、オゾンを発生させる185nmの併用も）
特に近年UVの応用がめざましい技術ジャンルとして、
UＶ洗浄・UV改質（254nmと185nmの併用が主流）等があります。



　 低圧水銀ランプの主用途
　１． 光洗浄・光表面改質
　２． 光酸化水処理・促進酸化水処理
　３． 難分解有機性ガス分解
　４． オゾン発生・オゾン分解
　５． イオン化・イオン除去
　６． 殺菌･漂白･脱臭
　７． ICメモリー消去
　８． 光アッシング・光ＣＶＤ
　

　高圧水銀ランプ/メタルハライドランプの主用途
　１． ＵＶ硬化
　２． 光重合反応



またＵＶに関連する説明などで、DUV、EUVといった言葉が登場する場合もあります。

DUV＝「Deep Ultraviolet：遠紫外線」　波長は２００ｎｍ程度。
　　　　　殺菌やチップ製造などの技術説明で登場します。

SUV / XE（Ｘｅ）
マテリアルテスト（品質試験）での、人工的な天候下での耐久試験などにＵＶを使う場合、
ＵＶ照射のことをＳＵＶ、太陽光の波長と分光分布が近似したキセノンアーク灯
（およびその照射）はＸＥと略されます。またランプ等級で、「標準的なUVランプ」をSUVと表示します。

Deep-UV＝深紫外放射・深紫外線　定義された学術的用語ではなく新造語で、100〜350nmにあるものを指す。
LED開発等で殺菌効率が254nmより劣るが「殺菌できる波長(例：265nmや280nm)」を放射するものは、254nmという
「殺菌界の絶対的王者」と比べられると訴求力が弱いので、新たな概念が必要とされ新造語が産み出された。
ただしLEDの場合、低圧水銀UVランプと違う利点(即点灯など）もあり、用途開拓のトライが進められている。

オゾン酸化　：オゾンによって有機化合物の炭素-炭素二重結合を酸化切断する酸化反応を有機化学では指しますが、
今では産業技術用途でオゾンの優れた特性（フッ素に次ぐ強い酸化力があり、少量でも金属や半導体の酸化膜形成や
有機物の分解など様々な酸化プロセスに利用でき、また最後的に分解されて酸素に戻る環境適合性）が評価され、
水処理から半導体プロセスなどの幅広い分野まで活用されています。 また水処理分野でも紫外線とオゾンを併用した
「促進酸化水処理*」は殺菌に加えＣＯＤの低減、脱色、透明度の維持など、高度水処理技術として確立しています。

（*紫外線が相乗効果を発揮するのはオゾンに限らず、過酸化水素、次亜塩素酸、過マンガン酸カリなど、
いずれの酸化剤とも反応・活性化して水の浄化力を高めるため「光酸化水処理」とも呼ばれます。）

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