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■ UV(紫外線)/ DUV/ EUV/ SUV

紫外線UVとは、可視光より波長の短い光で、
波長の長さにより

UV-A(400nm〜315nm)
UV-B(315nm〜280nm)
UV-C(280nm〜 10nm)    と、一般に分類されます。

紫外線(UV)は上手に使えば極めて有益で、例えばUV-Bは自然界での浄化殺菌も行なっています。
その他にも、環境にダメージを与えない処理法として様々な使い方があり、UV-B、UV-Cはそれを利用した
治療法や、工業用として多用途で活用されています。
>紫外線を応用した装置カタログページへは、こちら から。

利用技術の代表例としてはUV樹脂・UV塗料の硬化、UV洗浄(ウェーハ等)、紫外線殺菌などが挙げられ、
特に近年UVの応用がめざましい技術ジャンルに、UV洗浄・UV改質があげられます。
これらのジャンルではUV−A・B・C以外にDUV、EUVといった言葉が登場する場合があります。


DUV=「Deep Ultraviolet:遠紫外線」 波長は200nm程度。
     殺菌やチップ製造などの技術説明で登場します。

XUV=x/10nmから数十nmの範囲の波長。
    
極紫外線とされ、XUVまたはEUV放射線とも呼ばれます。

EUV=「Extreme Ultraviolet:超紫外線」 13.5nmなど極めて波長の短い超紫外線。

     EUVは用語として通常、リソグラフィと組み合わせて使用され(EUVLなど)、
     約5〜20nmの放射線帯を指します。つまりXUV範囲の一部です。
     またランプ等級では、洗浄・改質で主に使用される「高出力のUVランプ」をEUVと表示します。

 

SUV / XE(Xe)
マテリアルテスト(品質試験)での、人工的な天候下での耐久試験や殺菌などでも使われる高位機種の
標準等級UVランプのことをSUV、太陽光の波長と分光分布が近似したキセノンアーク灯
(およびその照射)はXEと略
されます。ランプ品種で言うSUVランプは、EUVランプと違い、強制冷却なしで
使用できます。


紫外線技術分野でSUVと記号の付く製品は紫外線照射に関連しますが、化粧品など記号的に
SUVと商品名に付いている場合は、照射とは逆の「紫外線カット」の意味である場合もあります。

 

 

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