紫外線照射装置 UV照射装置の知識 :UV/EUV/SUV/DUV/オゾン酸化/光酸化

   
 
 UV/EUV/SUV/DUV/オゾン酸化/光酸化

UV/EUV/SUV/DUV/オゾン酸化/光酸化

UVとは、可視光より波長の短い紫外線のことで、波長の長さにより
UV-A(400nm〜315nm)  
UV-B(315nm〜280nm)
UV-C(280nm〜200nm)  と、一般的には*分類されます。


UVは環境にダメージを与えない処理法として様々な使い方があり、
化学技術/工業用技術/医療技術など、幅広い用途で活用されています。

*UVを技術利用する場合は、UV-A UV-B UV-C という区分ではなく、
紫外線ランプの種類や、具体的な紫外線波長(nm:ナノ メートル)によって
技術の用途や目的が変わるケースが多く存在します。


UV樹脂・UV塗料の硬化 (200〜400nm波長、主に365nmを利用)
ウェーハ洗浄、殺菌など (主に254nm波長、オゾンを発生させる185nmの併用も)
特に近年UVの応用がめざましい技術ジャンルとして、
UV洗浄・UV改質 (254nmと185nmの併用が主流) 等があります。


  低圧水銀ランプの主用途
 1. 光洗浄・光表面改質
 2. 光酸化水処理・促進酸化水処理
 3. 難分解有機性ガス分解
 4. オゾン発生・オゾン分解
 5. イオン化・イオン除去
 6. 殺菌・漂白・脱臭
 7. ICメモリー消去
 8. 光アッシング・光CVD  

 高圧水銀ランプ/メタルハライドランプの主用途
 1. UV硬化
 2. 光重合反応



またUVに関連する説明などで、DUV、EUVといった言葉が登場する場合もあります。

DUV=「Deep Ultraviolet:遠紫外線」 波長は200nm程度。
     殺菌やチップ製造などの技術説明で登場します。

XUV=x/10nmから数十nmの範囲の波長。
    
極紫外線とされ、XUVまたはEUV放射線とも呼ばれます。

EUV=「Extreme Ultraviolet:超紫外線」 13.5nmなど極めて波長の短い超紫外線。

     EUVは用語として通常、リソグラフィと組み合わせて使用され(EUVLなど)、
     約5〜20nmの放射線帯を指します。つまりXUV範囲の一部です。
     またランプ等級では、「高出力のUVランプ」をEUVと表示します。

 
SUV / XE(Xe)
マテリアルテスト(品質試験)での、人工的な天候下での耐久試験などにUVを使う場合、
UV照射のことをSUV、太陽光の波長と分光分布が近似したキセノンアーク灯
(およびその照射)はXEと略されます。またランプ等級で、「標準的なUVランプ」をSUVと表示します。

オゾン酸化
 :オゾンによって有機化合物の炭素-炭素二重結合を酸化切断する酸化反応を有機化学では指しますが、
今では産業技術用途でオゾンの優れた特性(フッ素に次ぐ強い酸化力があり、少量でも金属や半導体の酸化膜形成や
有機物の分解など様々な酸化プロセスに利用でき、また最後的に分解されて酸素に戻る環境適合性)が評価され、
水処理から半導体プロセスなどの幅広い分野まで活用されています。 また水処理分野でも紫外線とオゾンを併用した
「促進酸化水処理*」は殺菌に加えCODの低減、脱色、透明度の維持など、高度水処理技術として確立しています。

(*紫外線が相乗効果を発揮するのはオゾンに限らず、過酸化水素、次亜塩素酸、過マンガン酸カリなど、
いずれの酸化剤とも反応・活性化して水の浄化力を高めるため「光酸化水処理」とも呼ばれます。)


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